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微电子工艺
课程类型：
选修课
发布时间：
2025-02-18 21:03:03
主讲教师：
课程来源：
建议学分：
0.00分
课程编码：
xtzx1125
课程介绍
课程目录
教师团队
绪论
第一单元 硅衬底制备
第二单元 氧化与扩散
第三单元 薄膜制备
第四单元 光刻
第五单元 工艺集成与封装测试
