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MEMS与微系统
课程类型：
选修课
发布时间：
2025-02-19 04:53:18
主讲教师：
课程来源：
建议学分：
0.00分
课程编码：
xtzx1035
课程介绍
课程目录
教师团队
第一章 概述
第二章 微系统基本理论—基础力学与基本物理
第三章 微系统制造技术I—光刻与体微加工技术
第三章 微系统制造技术II—表面微加工技术
第三章 微系统制造技术III—键合
第三章 微系统制造技术IV—集成与封装
第四章 微型传感器I—传感器的敏感机理
第四章 微型传感器Ⅱ—压力传感器
第四章 微型传感器Ⅲ—惯性传感器
第五章 微型执行器
第六章 RF MEMS
第七章 光学MEMS
第八章 微流体与芯片实验室
第九章 BioMEMS
